質量(Quality)和可靠性(Reliability)在一定程度上可以說是IC產(chǎn)品的生命。質量(Quality)就是產(chǎn)品性能的測量,它回答了一個產(chǎn)品是否合乎規(guī)格(SPEC)的要求,是否符合各項性能指標的問題;可靠性(Reliability)則是對產(chǎn)品耐久力的測量,它回答了一個產(chǎn)品生命周期有多長,簡單說,它能用多久的問題。所以說質量(Quality)解決的是現(xiàn)階段的問題,可靠性(Reliability)解決的是一段時間以后的問題。知道了兩者的區(qū)別,我們發(fā)現(xiàn),Quality的問題解決方法往往比較直接,設計和制造單位在產(chǎn)品生產(chǎn)出來后,通過簡單的
高壓加速老化試驗箱測試,就可以知道產(chǎn)品的性能是否達到SPEC的要求,這種測試在IC的設計和制造單位就可以進行。相對而言,Reliability的問題似乎就變的十分棘手,這個產(chǎn)品能用多久,誰會能保證今天產(chǎn)品能用,明天就一定能用?
為了解決這個問題,人們制定了各種各樣的標準,如: JESD22-A108-A、EIAJED- 4701-D101,注:JEDEC(Joint Electron Device Engineering Council)電子設備工程聯(lián)合委員會,著名國際電子行業(yè)標準化組織之一;EIAJED:日本電子工業(yè)協(xié)會,著名國際電子行業(yè)標準化組織之一。
在介紹一些目前較為流行的Reliability的測試方法之前,我們先來認識一下IC產(chǎn)品的生命周期。典型的IC產(chǎn)品的生命周期可以用一條浴缸曲線(Bathtub
Curve)來表示。
Region (I) 被稱為早夭期(Infancy period)
這個階段產(chǎn)品的 failure rate 快速下降,造成失效的原因在于IC設計和生產(chǎn)過程中的缺陷;
Region (II) 被稱為使用期(Useful life period)
在這個階段產(chǎn)品的failure
rate保持穩(wěn)定,失效的原因往往是隨機的,比如溫度變化等等;
Region (III) 被稱為磨耗期(Wear-Out period)
在這個階段failure rate 會快速升高,失效的原因就是產(chǎn)品的長期使用所造成的老化等。
認識了典型IC產(chǎn)品的生命周期,我們就可以看到,Reliability的問題就是要力圖將處于早夭期failure的產(chǎn)品去除并估算其良率,預計產(chǎn)品的使用期,并且找到failure的原因,尤其是在IC生產(chǎn),封裝,存儲等方面出現(xiàn)的問題所造成的失效原因。
下面就是一些 IC產(chǎn)品可靠性等級測試項目(IC Product Level reliability test items )
一、使用壽命測試項目(Life test items):EFR, OLT (HTOL), LTOL
①EFR:早期失效等級測試( Early fail Rate Test )
目的:評估工藝的穩(wěn)定性,加速缺陷失效率,去除由于天生原因失效的產(chǎn)品。
測試條件: 在特定時間內動態(tài)提升溫度和電壓對產(chǎn)品進行測試
失效機制:材料或工藝的缺陷,包括諸如氧化層缺陷,金屬刻鍍,離子玷污等由于生產(chǎn)造成的失效。
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:JESD22-A108-A
;EIAJED- 4701-D101 。
②HTOL/ LTOL:高/低溫操作生命期試驗(High/ Low Temperature Operating Life )
目的:評估器件在超熱和超電壓情況下一段時間的耐久力
測試條件:125℃,1.1VCC, 動態(tài)測試
失效機制:電子遷移,氧化層破裂,相互擴散,不穩(wěn)定性,離子玷污等
參考標準:
125℃條件下1000小時測試通過IC可以保證持續(xù)使用4年,2000小時測試持續(xù)使用8年;
150℃ 1000小時測試通過保證使用8年,2000小時保證使用28年。
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準 :MIT-STD-883E
Method 1005.8 ;JESD22-A108-A ;EIAJED- 4701-D101 。
二、環(huán)境測試項目(Environmental test items)
PRE-CON, THB, HAST, PCT, TCT, TST, HTST, Solderability Test, Solder Heat Test
①PRE-CON:預處理測試(
Precondition Test )
目的:模擬IC在使用之前在一定濕度,溫度條件下存儲的耐久力,也就是IC從生產(chǎn)到使用之間存儲的可靠性。
測試流程(Test Flow):
Step 1:超聲掃描儀 SAM (Scanning Acoustic Microscopy)
Step
2: 高低溫循環(huán)(Temperature cycling )
-40℃(or lower) ~ 60℃(or higher) for 5 cycles to simulate shipping conditions
Step 3:烘烤( Baking )
At minimum 125℃ for 24 hours
to remove all moisture from the package
Step 4:浸泡(Soaking )
Using one of following soak conditions
-Level 1: 85℃ / 85%RH for 168 hrs (儲運時間多久都沒關系)
-Level 2: 85℃ / 60%RH for 168 hrs (儲運時間一年左右)
-Level 3: 30℃ / 60%RH for 192 hrs (儲運時間一周左右)
Step5:Reflow (回流焊)
240℃ (- 5℃) / 225℃
(-5℃) for 3 times (Pb-Sn)
245℃ (- 5℃) / 250℃ (-5℃) for 3 times (Lead-free)
* choose according the package size
Step6:超聲掃描儀 SAM (Scanning Acoustic
Microscopy)
BGA在回流工藝中由于濕度原因而過度膨脹所導致的分層/裂紋
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:JESD22-A113-D;EIAJED- 4701-B101。
評估結果:八種耐潮濕分級和車間壽命(floor life),請參閱 J-STD-020。
注:對于6級,元件使用之前必須經(jīng)過烘焙,并且必須在潮濕敏感注意標貼上所規(guī)定的時間限定內回流。
提示:濕度總是困擾在電子系統(tǒng)背后的一個難題。不管是在空氣流通的熱帶區(qū)域中,還是在潮濕的區(qū)域中運輸,潮濕都是顯著增加電子工業(yè)開支的原因。由于潮濕敏感性元件使用的增加,諸如薄的密間距元件(fine-pitch
device)和球柵陣列(BGA, ball grid array),使得對這個失效機制的關注也增加了?;诖嗽颍娮又圃焐虃儽仨殲轭A防潛在災難支付高昂的開支。吸收到內部的潮氣是半導體封裝的問題。當其固定到PCB板上時,回流焊快速加熱將在內部形成壓力。這種高速膨脹,取決于不同封裝結構材料的熱膨脹系數(shù)(CTE)速率不同,可能產(chǎn)生封裝所不能承受的壓力。當元件暴露在回流焊接期間升高的溫度環(huán)境下,陷于塑料的表面貼裝元件(SMD, surface mount device)內部的潮濕會產(chǎn)生足夠的蒸汽壓力損傷或毀壞元件。常見的失效模式包括塑料從芯片或引腳框上的內部分離(脫層)、金線焊接損傷、芯片損傷、和不會延伸到元件表面的內部裂紋等。在一些極端的情況中,裂紋會延伸到元件的表面;嚴重的情況就是元件鼓脹和爆裂(叫做“爆米花”效益)。盡管現(xiàn)在,進行回流焊操作時,在180℃
~200℃時少量的濕度是可以接受的。然而,在230℃ ~260℃的范圍中的無鉛工藝里,任何濕度的存在都能夠形成足夠導致破壞封裝的小爆炸(爆米花狀)或材料分層。必須進行明智的封裝材料選擇、仔細控制的組裝環(huán)境和在運輸中采用密封包裝及放置干燥劑等措施。實際上國外經(jīng)常使用裝備有射頻標簽的濕度跟蹤系統(tǒng)、局部控制單元和專用軟件來顯示封裝、測試流水線、運輸/操作及組裝操作中的濕度控制。
②THB: 加速式溫濕度及偏壓測試(Temperature Humidity Bias Test )
目的:評估IC產(chǎn)品在高溫,高濕,偏壓條件下對濕氣的抵抗能力,加速其失效進程。
測試條件:85℃,85%RH, 1.1 VCC, Static bias
失效機制:電解腐蝕
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:JESD22-A101-D;EIAJED- 4701-D122
Leakage failure
③高加速溫濕度及偏壓測試(HAST: Highly Accelerated Stress Test )
目的:評估IC產(chǎn)品在偏壓下高溫,高濕,高氣壓條件下對濕度的抵抗能力,加速其失效過程。
測試條件:130℃, 85%RH, 1.1 VCC, Static bias,2.3 atm
失效機制:電離腐蝕,封裝密封性
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:JESD22-A110
Au Wire Ball Bond
with Kirkendall Voiding
④PCT:高壓蒸煮試驗 Pressure Cook Test (Autoclave Test)
目的:評估IC產(chǎn)品在高溫,高濕,高氣壓條件下對濕度的抵抗能力,加速其失效過程。
測試條件:130℃, 85%RH, Static bias,15PSIG(2 atm)
失效機制:化學金屬腐蝕,封裝密封性
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:JESD22-A102;EIAJED- 4701-B123
*HAST試驗箱與THB試驗箱的區(qū)別在于溫度更高,并且考慮到壓力因素,實驗時間可以縮短, 而PCT試驗箱則不加偏壓,但濕度增大。
Bond pad corrosion
⑤TCT: 高低溫循環(huán)試驗(Temperature Cycling Test )
目的:評估IC產(chǎn)品中具有不同熱膨脹系數(shù)的金屬之間的界面的接觸良率。方法是通過循環(huán)流動的空氣從高溫到低溫重復變化。
測試條件:
Condition B:-55℃ to 125℃
Condition C: -65℃ to 150℃
失效機制:電介質的斷裂,導體和絕緣體的斷裂,不同界面的分層
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:MIT-STD-883E
Method 1010.7;JESD22-A104-A;EIAJED- 4701-B-131
Ball neck broken by die top de-lamination after Temp cycling
⑥TST: 高低溫沖擊試驗(Thermal Shock Test )
目的:評估IC產(chǎn)品中具有不同熱膨脹系數(shù)的金屬之間的界面的接觸良率。方法是通過循環(huán)流動的液體從高溫到低溫重復變化。
測試條件:
Condition B: - 55℃ to 125℃
Condition C:- 65℃ to 150℃
失效機制:電介質的斷裂,材料的老化(如bond wires), 導體機械變形
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:MIT-STD-883E
Method 1011.9;JESD22-B106;EIAJED- 4701-B-141
* TCT與TST的區(qū)別在于TCT偏重于package 的測試,而TST偏重于晶園的測試
Metal crack and metal shift after thermal Shock
⑦HTST: 高溫儲存試驗(High
Temperature Storage Life Test )
目的:評估IC產(chǎn)品在實際使用之前在高溫條件下保持幾年不工作條件下的生命時間。
測試條件:150℃
失效機制:化學和擴散效應,Au-Al 共金效應
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:MIT-STD-883E
Method 1008.2;JESD22-A103-A; EIAJED- 4701-B111
Kirkendall Void
⑧可焊性試驗(Solderability Test )
目的:評估IC leads在粘錫過程中的可靠度
測試方法:
Step1:蒸汽老化8 小時
Step2:浸入245℃錫盆中 5秒
失效標準(Failure Criterion):至少95%良率
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:MIT-STD-883E Method 2003.7;JESD22-B102。
poor solderability of the pad surface
⑨SHT Test:焊接熱量耐久測試( Solder Heat Resistivity Test )
目的:評估IC 對瞬間高溫的敏感度
測試方法:侵入260℃ 錫盆中10秒
失效標準(Failure Criterion):根據(jù)電測試結果
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:MIT-STD-883E Method 2003.7;EIAJED- 4701-B106。
三、耐久性測試項目(Endurancetest items )
Endurance
cycling test, Data retention test
①周期耐久性測試(EnduranceCycling Test )
目的:評估非揮發(fā)性memory器件在多次讀寫算后的持久性能
測試方法:將數(shù)據(jù)寫入memory的存儲單元,在擦除數(shù)據(jù),重復這個過程多次
測試條件:室溫,或者更高,每個數(shù)據(jù)的讀寫次數(shù)達到100k~1000k
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:MIT-STD-883E Method 1033
②數(shù)據(jù)保持力測試(Data Retention Test)
目的:在重復讀寫之后加速非揮發(fā)性memory器件存儲節(jié)點的電荷損失
測試方法:在高溫條件下將數(shù)據(jù)寫入memory存儲單元后,多次讀取驗證單元中的數(shù)據(jù)
測試條件:150℃
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:MIT-STD-883E Method 1008.2;MIT-STD-883E Method 1033
在了解上述的IC測試方法之后,IC的設計制造商就需要根據(jù)不用IC產(chǎn)品的性能,用途以及需要測試的目的,選擇合適的測試方法,限度的降低IC測試的時間和成本,從而有效控制IC產(chǎn)品的質量和可靠度。